工业硅与氯化氢反应之后产生 (液体) 氯化硅,氯化氢硅,氯化多硅 (固体) 氯化亚铁,氯化镁,氯化铝等, 固体颗粒的粒径为几微米到几十微米,我们的全自动防爆隔膜压滤机用到这里的固液分离上面.
优点是,(1)这种特殊要求,不能用手动操作,必须全自动
(2)适度高压压滤,滤布滤饼压密,滤液质量好
(3)用惰性气体洗涤,分离彻底
(4)设备全密闭,防止水与空气的接触
(5)料液以及固体颗粒的性质决定用普通真空过滤或离心分离的效果不如这样的全自动压滤
多晶硅设备的主要装置有:
1氢气制备：一般用水电解制氢，此部分国内好多常见，只是半导体极地需要，氢气的纯度更高，基本不用进口；
2HCL合成，卡朋罗兰有成套设备，估计国内也有生产，需配套干燥装置
3氢化氯化，部分流化床反应器进口（不锈钢设备）的多，
4精馏塔，基本进口（不锈钢设备）日本美国
5还原炉，全部进口
7氢气等尾气回收，塔器国产的多，但氢压机需进口
8中间储罐，国内即可生产
9后处理，关键设备进口
说：多晶硅生产技术与研究还是落后，基本上是买生产工厂
1、改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法
改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产[wiki]电子[/wiki]级与太阳能级多晶硅。
2、硅烷法——硅烷热分解法
硅烷（SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只有日本小松掌握此技术，由于发生过严重的[wiki]爆炸[/wiki]事故后，没有继续扩大生产。但美国Asimi和SGS公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。
3、流化床法
以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。
制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，生成粒状多晶硅产品。因为在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与成本低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是产品纯度不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。
此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上只有美国MEMC公司采用此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。
4、太阳能级多晶硅新工艺技术
除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方法生产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能级多晶硅新工艺技术。
1）冶金法生产太阳能级多晶硅
主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，直接生成太阳能级多晶硅设备。
2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅设备
主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高到1500℃，流体三氯氢硅和氢气从石墨管的上部注入，在石墨管内壁1500℃高温处反应生成液体状硅，然后滴入底部，温度回升变成固体粒状的太阳能级多晶硅。
3）重掺硅废料提纯法生产太阳能级多晶硅设备
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不锈钢反应釜、化工机械、成套设备
